Характеристики на продукта
VEGOR VMB Valve Coantold Box е модулна система за разпределение и управление на газ, специално създадена за инерционни газове с висока чистота (като CF₄, SF₆, AR, HE и т.н.). Чрез интегриране на множество клапани, интелигентен мониторинг и сглобяване на чисти клас, той осигурява чистота, стабилност на газа и безопасността по време на разпределението. Той се използва широко при производството на полупроводници, фотоволтаичното производство на енергия, изследователските лаборатории и други области, изискващи точно управление на газа.
Технически спецификации
| Категория | Подробности за параметрите |
|---|---|
| Модел: | Кутия за колектор на VMB клапана |
| Приложими газове: | Инертни газове (cf₄, sf₆, chf₃, ar, he и т.н.) |
| Режим на доставка на газ: | Едноцилиндрова \/ двойна цилиндрова конфигурация по избор |
| Захранване: | 110 ~ 240V AC |
| Материал: | Клапани и компоненти на тръбите: SS 316L |
| Ниво на защита: | Съвместим с Semi S2, устойчив на корозия дизайн |
Основни функции и функции
Ефективно разпределение на газа
1)Поддържа едноцилиндрова или двойна цилиндрова конфигурация с незадължително автоматично превключване за непрекъснато, непрекъснато снабдяване с газ.
2) Вграден дизайн с много клапан за гъвкаво задоволяване на сложните нужди за разпределение на газа.
Висока чистота и уплътнение
1)Клапаните и тръбите са изработени от SS 316L материал; Цялата система е сглобена в чиста стая от клас 100, за да се предотврати замърсяване на частиците.
2) Стандарт за откриване на хелий: Степента на изтичане по-малка или равна на 1 × 10⁻⁸ Mbar · L\/S He, отговаряща на изискванията за ултрависилно уплътняване.
Интелигентен контрол
1)Незадължителна система за управление на PLC, поддържаща комуникационния интерфейс на MODBUS за интеграция в платформите за интелигентен мониторинг, което позволява отдалечена работа и управление на данни.
2) Дисплей на сензорен екран за мониторинг в реално време на налягането на цилиндъра, дебита на газа и състоянието на алармата с интуитивен потребителски интерфейс.
Множество защити за безопасност
1)Аучуращи се аларми с високо\/ниско налягане, които автоматично задействат изключването на аварийния газ.
2) Незадължителни функции за вентилация и прочистване, интегрирани с устройство за облекчаване на безопасността, за да се предотврати свръхналягане на системата.
3) отговаря на SEMI S2 стандартите и международните кодове за пожарна безопасност, с максимално работно налягане до 110% от тестовото налягане.
Приложение
1)Полупроводниково производство:Прецизно разпределение на инерционните газове с висока чист за процесите на офорт и отлагане на вафли.
2)Фотоволтаична индустрия:Стабилно предлагане на специални газове (като SF₆) за производство на слънчеви панели.
3)Изследователски лаборатории:Централизиран контрол и управление на многоканални експерименти с газ.
4)Биофармацевтична индустрия:Безопасно предаване и разпределение на инертни газове в стерилна среда.
Рисунки

Полуавтоматичен
Системата включва автоматични функции за изключване и прочистване, с 3\/8 "главна линия и 1\/4" клонове (1 вход, 4 търговски обекта). Той разполага с PLC Control, A 7- инчов интерфейс на сензорния екран и регулиране на налягането на клоновата линия. Освен това системата е оборудвана с повърхностно отопление на панела за подобрена производителност.
Манул
Системата включва функции за ръчно подаване на газ и прочистване на газ, с 3\/8 "основна линия и 1\/4" клонове (1 вход, 4 търговски обекта). Той разполага с регулиране на налягането на клоновата линия за оптимално управление.

Често задавани въпроси
Q1: Как системата превключва между единични и двойни цилиндрови конфигурации?
О: Двуцилиндровата конфигурация поддържа автоматично превключване (изисква PLC модул). Когато налягането на първичния цилиндър спадне, системата автоматично преминава към резервния цилиндър, за да осигури непрекъснато захранване.
Q2: Как се открива изтичане на газ?
О: Целостта на системата се проверява чрез откриване на течове на хелиева масова спектрометрия. Ежедневният мониторинг може да се извърши чрез ненормални тенденции на налягане или подсказки за аларми, показани на сензорния екран.
Q3: Може ли сензорният екран да изнася исторически данни?
О: Стандартният сензорен екран поддържа показване на данни в реално време. Ако са оборудвани с PLC модул, данните могат да бъдат експортирани във формат CSV чрез USB интерфейс или комуникационен протоколи (като MODBUS).
Q4: Какъв е препоръчителният цикъл на поддръжка?
О: Препоръчва се да проверявате уплътняването на клапана и скоростта на изтичане на всеки шест месеца и сензорите за калибриране на налягането годишно. Във високочестотна среда за използване трябва да се извършват проверки на всеки три месеца.
Q5: Поддържа ли системата корозивни газове?
О: Този модел е предназначен за инертни газове. Ако трябва да се обработват корозивни газове (напр. HCl), се изисква персонализиране с дуплексни материали от неръждаема стомана и специални уплътнения. Моля, свържете се с техническата поддръжка за подробности.
Q6: Какво трябва да се има предвид по време на инсталирането?
О: Уверете се, че чиста и без вибрация инсталационна среда, резервна мощност и изпускателни връзки и се уверете, че зоната на газовия цилиндър отговаря на изискването за натоварване (по-голямо или равно на 500 кг\/м²).
Заключение
Vigor VMB Valve Coantold Box (VMB) предлага надеждни решения за управление на газ с висока чистота чрез прецизен контрол и строги стандарти за безопасност. За персонализирани конфигурации или подробни технически спецификации, моля, свържете се с официалния екип за Vigor Service.
Популярни тагове: Vigor Specialty VMB Valve Conlybold Box, China Vigor Specialty VMB Valve Conlender Box Производители, доставчици, газ в преработката на пластмаси, Газ при пречистване на водата, Диагностичен софтуер за контролен панел на налягането, Регулатор на газ за скара, Резервен софтуер за контролен панел за налягане, Кутия за съхранение


