INTEGRATED GAS SYSTEM>>Споделяне на серията продукти на IGS
VIGOR предоставя усъвършенствани интегрирани газови системи (IGS), проектирани специално за-контрол на газ с висока чистота в индустрията за производство на полупроводници. Нашите решения комбинират иновативно инженерство със строги производствени стандарти, за да гарантират надеждност, компактност и превъзходна производителност в критични приложения.
Характеристики на продукта
- Използва се за контрол на газа в полупроводниковата индустрия
- Модулен дизайн
- Всички компоненти са повърхностно монтирани в съответствие със стандарта SEMl
- Размерът е около 1/3 от традиционния панел
- Стандартен материал SEMl, процес на електрополиране и орбитално заваряване
- Wseal и C-seal по избор
- Двойно пакетиран в чиста стая
- Всички продукти, с изключение на "скобите", се произвеждат в съответствие със спецификацията на процеса VS001A
IGS регулатори на налягане серия VIR
1. Макс. Работно налягане: 150 psig
2. Макс. Работна температура: -40 градуса F~140 градуса F (-40 градуса ~60 градуса)
3. Изходящо налягане: 0~100 psig
4. Повърхностно покритие: Max. 5uin. Ра
5. Материал: 316L VIM-VAR
6. Седалка на клапана: PCTFE (PFA/Vespel по избор)
7. Капацитет на потока: Cv=0.08
IGS диафрагмени вентили серия VID
1. Макс. Работно налягане: 150 psig
2. Макс. Работна температура: PCTFE 14 градуса F~176 градуса F (-10 градуса ~80 градуса); PFA 14 градуса F~302 градуса F (-10 градуса градуса ~150 градуса)
3. Без задънена улица
4. Мократа повърхност се третира с EP, Max. 5uin. Ра.
5. Материал: 316L VIM-VAR
6. 100% хелий-теч-тестван
7. Капацитет на потока: Cv=0.1
Клапани за регулиране на потока IGS серия VIM
1. Макс. Работно налягане: 150 psig
2. Макс. Работна температура: 14 градуса F~302 градуса F (-10 градуса ~150 градуса)
3. Уплътнение: FKM
4. Мократа повърхност се третира с EP, Max. 5uin. Ра
5. Капацитет на потока: Cv=0.03
Възвратни клапани IGS серия VICV
1. Макс. Работно налягане: 150 psig
2. Макс. Работна температура: 14 градуса F~176 градуса F (-10 градуса ~80 градуса)
3. Покритие на повърхността: Max. 5uin. Ра
4. Налягане на крекинг: 0,33 psig
5. Капацитет на потока: Cv=0.2
Субстрати VlB Series (C-seal)
1. C-уплътнение
2. Не-фиксирана инсталация за осигуряване на ефекта на запечатване
3. Мократа част се третира с ЕР
4. Повърхностно покритие: Max. 5uin.Ra
5. Материал: 316L VIM-VAR
Серия основни продукти
- Регулатори на налягане IGS (серия VIR)
- IGS диафрагмени вентили (серия VID)
- Клапани за регулиране на потока IGS (серия VIM)
- Възвратни клапани IGS (серия VICV)
- IGS субстрати и скоби (серия VIB)
- Уплътнения (серия VIG)
Защо да изберете VIGOR IGS?
Нашите системи представляват синергия от прецизно инженерство и практичен дизайн, осигурявайки:
- Ефективност на пространството: Драматично намален размер на панела.
- Ултра{0}}висока чистота: Материали и процеси, пригодени за приложения от-клас полупроводници.
- Модулна гъвкавост: Лесен за конфигуриране, разширяване и поддръжка.
- Доказана надеждност: Строги тестове и SEMI{0}}съответствие със стандарта.
Ние във VIGOUR предлагаме повече от компоненти-предоставяме интегрирани решения, които вдъхват вашите идеи в живот с увереност и прецизност.
