В газовите системи със свръхвисока чистота (UHP) клапанът играе роля, сравнима с „клапата“ на човешкото сърце: той трябва да се включва и изключва прецизно, като минимизира частиците, остатъчния газ и замърсяването от външни източници, доколкото е възможно. На пазара има много видове вентили – сферичните кранове, иглените вентили и вентилите със силфонни клапани имат своите верни привърженици – но в най-взискателните чисти приложения, като полупроводници и биофармацевтични продукти, диафрагменият вентил почти се е превърнал в „отговора по подразбиране“. защо
Сърцевината на диафрагмения вентил: пълно отделяне на „движението“ от „потока“
Традиционните клапани, уплътнени с уплътнение на стеблото, разчитат на динамично уплътнение между стеблото на клапана и тялото. Многократното отваряне и затваряне може да износи уплътнението и да причини изтичане. Някои конвенционални конструкции на сферични и иглени вентили също имат относително големи мъртви обеми и области, които са трудни за цялостно прочистване, оставяйки остатъчен газ, уловен в пукнатини, които не могат да бъдат изместени. Мембранният вентил е фундаментално различен: гъвкава метална диафрагма (напр. Elgiloy сплав) напълно изолира тялото на клапана отзадвижващ механизъм. Действието на отваряне/затваряне се постига чрез деформация на диафрагмата. Намокрената зона не съдържа традиционна структура за уплътняване на стъблото и пътят на потока е оптимизиран за намаляване на мъртвия обем - това е основната причина за нейната "висока чистота".
Три основни предимства, отговарящи точно на изискванията на UHP
Висока газонепроницаемост: Металната диафрагма изолира технологичната среда от задвижващия механизъм и образува външна уплътнителна структура без уплътнения, елиминирайки пътищата на изтичане на динамично уплътнение. Скоростта на външно изтичане може да се контролира до порядъка на 10⁻⁹ mbar·l/s He.
Нисък мъртъв обем: Пътят на потока е прав и плавен, което подобрява ефективността на продухването и изместването на газа, поддържайки риска от кръстосано замърсяване изключително нисък.
Дълъг експлоатационен живот: Деформацията на диафрагмата остава в границите на еластичността; с подходящ контрол на напрежението на диафрагмата може да се постигне дълъг живот на цикъла. Реалният живот зависи от модела и условията на работа, с ниски разходи за поддръжка.
Семейството диафрагмени вентили VIGOR
| Серия | Модел | Макс. налягане | Коефициент на поток (Cv) | Размер на отвора/тръбата | Порт / Връзка | Забележки |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Обща/висока чистота (VHPS) |
VDV1 | 60 bar | 0.1 | Φ4 мм | 1/4" · 3/8" NPT(F) | Седалка: PEEK; Диафрагма: Elgiloy® |
|
Обща/висока чистота (VHPS) |
VDV2 | 20 бара (60 бара по избор) | 0.1 | Φ3,2 mm | 1/4" NPT | - |
|
Обща/висока чистота (VHPS) |
VDV8 | 40 bar | 0.6 | Φ8 мм | 3/8" · 1/2" NPT(F) | - |
|
Обща/висока чистота (VHPS) |
VDV30 / VDV31 | 300 бара (60 бара по избор) | 0.1 | Φ2,7 мм | - | - |
|
Ултра висока чистота (VUPS) |
VDV33UB / VDV33UC | 3000 psig (200 бара) | 1/4": 0.27; 1/2": 0.5 | - | 1/4" – 1/2" VFS лицево уплътнение | - |
|
Ултра висока чистота (VUPS) |
VDV52UB / VDV52UC | 300 psig (20 бара) |
1/4": 0.3; 1/2": 0.65 |
- | - | - |
|
Ултра висока чистота (VUPS) |
VDV37UB / VDV37UC |
Ръчно: 300 psig (20 бара); Пневматично: 250 psig (17 бара) |
2.8 | - | - | Дизайн с голям поток |
|
Ултра висока чистота (VUPS) |
VDV38UB / VDV38UC | 1300 / 3000 psig |
Ръчно: 1.0; Пневматично: 1.0 (90 bar) / 0.7 (206 bar) |
тръба: 1/4" – 3/4" |
- | - |
| Елемент | Спецификация |
|---|---|
| Тяло | UC серия: 316L двойно претопен (VAR/SLV); Серия UB: 316L |
| Диафрагма | Co-Cr-Ni-Mo сплав (Elgiloy®) |
| Печат | PCTFE (Vespel® / PFA по избор); Ръчно колело: алуминиева сплав |
| Повърхностно покритие | Вътрешно електрополиране (EP); UB серия: 10 μin Ra; UC серия: 7 μin Ra |
| Стандарт на процеса | UB=VS001B; UC=VS001A (добавете "P" към номера на поръчката) |
При какви сценарии диафрагмените вентили са задължителни?
| Сценарий за приложение | Препоръчани продукти | Основни съображения |
|---|---|---|
| Газова верига за полупроводников процес | VDV33UB/UC, VDV38UB/UC | Нулев мъртъв обем, нулево изтичане, чистота на ниво ppb |
| Биофармацевтична верига за чист газ | Серия VDV1/VDV2 | Възможност за CIP/SIP, без риск от замърсяване |
| Лабораторно доставяне на газ с висока чистота | VDV52UB/UC | Бърза реакция, лесно разглобяване и сглобяване |
| Смесване на технологичен газ с голям поток | VDV37UB/UC (пневматичен) | Cv 2.8, съвместим с автоматизирано управление |
Разбира се, диафрагменият вентил не е сребърен куршум: в сравнение със сферичните кранове с пълен отвор, конвенционалните диафрагмени вентили обикновено имат по-ограничен капацитет на потока. За изисквания за изключително висок дебит трябва да се изберат специални конфигурации с висок дебит въз основа на Cv и спад на налягането. Освен това струват повече от обикновените иглени вентили. Поради тези причини диафрагмените вентили се използват широко в полупроводникови UHP доставки на газ, газови кутии, VMB и подобни приложения.
Свържете се с техническия екип на VIGOR за индивидуална подкрепа при избора
Официален сайт:https://www.vigourregulators.com/
